Поставете силициев субстрат на спин- нанасяне на покритие на патронника . Изберете скорост на въртене от 3000 RPM, и време за завъртане на 2 минути. Поставете няколко капки S1813 върху субстрата и да започне да се върти.
2
Включете котлона и го постави до 110 градуса по Целзий ( 230 градуса по Фаренхайт ) . Изчакайте, докато горещата плоча е достигнала температурата на заданието . Образецът се поставя на котлона в продължение на 2 минути. Премахване на пробата и го оставете да се охлади.
3
Образецът се поставя в Aligner маската и поставете маската с кръгло пистата в Aligner маска над образеца . Expose пробата на ултравиолетова светлина в продължение на 2 секунди.
4
Образецът се поставя в разработчика S1813 в продължение на 30 секунди. Разработчикът премахва откритите части на пробата , образувайки кръгло парче, свръхпроводим материал може да бъде депозиран в .
5
Образецът се поставя в изпарителя , и поставете няколко гранули от ниобий в изпаряване тигела . Изпарява 100 нанометра , ниобий . Маха се пробата от изпаряване камера. Образецът се поставя в ацетон. Ацетон премахва всички части на фоторезист оставяйки свръхпроводящ кръгова писта. Пробата е пълен . Ниобий се свръхпроводящи под 9,3 келвина .