Отворете разпрашване система. Премахване на пръски пистолет щит и развийте пръстен , който държи вашата целева разпрашване на място. Поставете целта от метален оксид върху РВ пистолета и завийте на мястото на целевата пръстен с прецизна отвертка. Сменете РВ пистолет щит . Поставете пластмасовата подложка в държача на субстрата. Затворете разпрашване система.
2
Помпа разпрашаващия системата до подходящо налягане настройка като 10 ^ -6 милибара . Уверете се, че затворът е затворен , така че субстратът не е изложена на отлагане , докато е необходимо . Въвеждане на газ аргон на системата в камерата , докато се достигне налягане от около 5 милибара .
3
Включете радио честота захранване . Изчакайте, докато видимо плазма може да се види в рамките на разпрашване камера. Отваряне на затвора. Пластмасов субстрат сега се излага на отлагане на оксидни молекули метални . Затворете затвора, когато е получена желаната дебелина .